国家“八六三”计划基金资助项目(2011AA040404);国家自然科学基金资助项目(51075375)
杜春晖,何常德,葛晓洋,于佳琪,熊继军,张文栋. MEMS压阻式加速度传感器的优化设计[J].压电与声光,2012,34(6):848-852. DU Chunhui, HE Changde, GE Xiaoyang, YU Jiaqi, XIONG Jijun, ZHANG Wendong. Optimization Design of MEMS Piezoresistive Acceleration Sensor[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS
复制