电清洗人造石英晶体技术的研究
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Sweeping Quartz Crystals
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    该文采用电清洗技术研制出高稳定性,高可靠性,低腐蚀隧道密度的人造石英晶体。通过对电清洗工艺技术的研究,可将腐蚀隧道密度≤100条/cm2、Na+质量分数为2.33×10-6的石英晶体腐蚀隧道密度降低到≤10条/cm2,Na+质量分数减少到0.3×10-6。采用电清洗石英晶体技术研制出了腐蚀隧道密度≤3条/cm2,抗辐射性能提高2个数量级。

    Abstract:

    We have acquired high stable、high dependable、low etch channel density quartz crystals through the sweeping technique in this work. The sweeping process can reduce Na+ impurities from 2.33×10-6 to 0.3×10-6,reduce etch channel density from ≤100/cm2 to ≤10/cm2.By using the proposed sweeping process , the quartz crystals with etch channel density≤3/cm2 have been prepared,and the anti radiation excellent has been improved by 2 order of magnitudes.

    参考文献
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引用本文

漆婷,李和新,谢克诚,李建芝,石自彬,蒋春键.电清洗人造石英晶体技术的研究[J].压电与声光,2012,34(6):915-916. QI Ting, LI Hexin, XIE Kecheng, LI Jianzhi, SHI Zibin, JIANG Chunjian. Sweeping Quartz Crystals[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS

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  • 在线发布日期: 2012-11-23
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