吴鹏程(1989-),男,四川省道宁市蓬溪县人,硕士,工程师,主要从事压电MEMS器件研发、设计与应用工作。E-mail:pc17623656898@163.com。
吴鹏程,曾怀望,李鑫,安兴,朱鑫,易拥洁,黄湘俊,邸啸. Parylene封装对MEMS声学传感器性能的影响研究[J].压电与声光,2022,44(3):435-440. WU Pengcheng, TSANG Wei Mong, LI Xin, AN Xing, ZHU Xin, YI Yongjie, HUANG Xiangjun, DI Xiao. Study on the Effect of Parylene Encapsulation for the Performance of MEMS Acoustic Sensor[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS
复制