1.长春理工大学 机电工程学院,吉林 长春 130012 ;2.中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州 215123 ;3.中国科学院 多功能材料与轻巧系统重点实验室,江苏 苏州 215123 ;4.中国科学技术大学 纳米技术与纳米仿生学院,安徽 合肥 230026 ;5.上海大学 理学院,上海 200072
塔桂峰(1999-),男(满),吉林省长春市人,硕士生。
苏州市科技计划基金资助项目(SSD2023001);国家自然基金资助项目(62074159);国家重点研发计划基金资助项目(2021YFB3201600)
1.School of Mechanical and Electrical Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130012 , China ;2.Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics(SINANO),Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123 , China ;3.Key Laboratory of Multifunctional Nanomaterials and Smart Systems, Chinese Academy of Sciences, Suzhou 215123 , China ;4.School of Nano-Tech and Nano-Bionics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026 , China ;5.The College of Science, Shanghai University, Shanghai 200072 , China
塔桂峰,刘建河,李加东,姚术涛,刘浩杰,苗斌,商文玲,陶金燕.基于ScAlN薄膜的高频PMUT阵列的设计与制造[J].压电与声光,2024,46(4):496-504. TA Guifeng, LIU Jianhe, LI Jiadong, YAO Shutao, LIU Haojie, MIAO Bin, SHANG Wenling, TAO Jinyan. Design and Fabrication of High-Frequency PMUT Array Based on an ScAlN Thin Film[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS
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