摘要:介绍了一种适用于LiTaO3、LiNbO3基片的金属剥离工艺技术。该剥离技术利用碱性溶剂浸泡处理光刻胶，光刻胶顶层形成一层有利于剥离的突出遮蔽层。利用该技术可制作线宽小于0.5 μm的SAW芯片。该技术无需额外设备，工艺稳定且成本低。

摘要:以声表面波（SAW）延迟线为核心技术，研制出大带宽、小带内波动和长延时的延迟线；通过优化延迟线连接方式和对嵌入式系统及通信系统的研究，研制出1 m步进，1~8 000 m连续可调，200 MHz带宽（3 dB）的C波段高度表激励源。该系统具有小型化，多功能性,通用性和自动化测试的特点。

摘要:声表面波（SAW）滤波器的设计需对单端对谐振器建模。该文提出了一种新的基于ADS线性矩阵模型的声表面波单端对谐振器模型，并给出了主要参数的推导过程。借助新模型成功设计了一个中心频率为1 GHz、带宽为30 MHz的声表面波带通滤波器，其插入损耗小于4 dB，带外抑制大于30 dB。设计过程表明，采用新模型设计声表面波滤波器可做到操作性强、简单、快捷。

摘要:选用不同的矿化剂，采用水热法获得了几种不同物相的PbTiO3纳米材料。当以NaOH作矿化剂时，获得的产物为四方相(PE)PbTiO3；当以乙醇胺作矿化剂时，可分别获得体心四方(PX)和烧绿石相(PY)PbTiO3。微结构分析显示，PX相PbTiO3纳米线直径约20 nm，主要沿[011]方向生长；而PE相PbTiO3纳米线主要沿[001]方向生长；获得的PY相PbTiO3主要由树枝状纳米结构组成。室温Raman光谱研究表明，三种物相的PbTiO3纳米材料均存在一定程度的谱带展宽现象，PX比PE表现出更丰富的声子振动特性。PX相PbTiO3纳米材料在室温呈蓝绿发光现象，该发光应与氧空位引起的非一致性禁带结构有关。

摘要:在立靶密集度测试中，为构建更大的测试靶面(10 m×10 m)，且要求测试系统具有较高的精度，在声探测阵列中增加了光探测器，组成了一种新的测量模型。该模型既具有声阵列能构成巨大测试靶面的特点，又通过引入光探测来提高测试系统的精度。推导了该模型的测量公式，并进行误差分析和仿真，得到了x坐标误差为5 mm、y坐标误差为15 mm的理论测试精度。

摘要:针对干涉式傅里叶变换光谱仪中干涉信号的单边过零采样和实时快速数据处理要求，该文对光谱复原中的实时数据处理关键问题进行分析。在实验中以迈克尔逊干涉仪为核心，以632.8 nm的激光为参考光源，以3.5~5.0 μm的大气窗口为被测对象，产生干涉图；通过HgCdTe点探测器对干涉图进行光电转换，获取干涉数据。基于Matlab软件对干涉数据进行预处理、最小采样数据点确定、切趾、相位校正、频谱标定等光谱复原中数据处理的关键技术和问题进行分析和仿真分析。实验表明，大气窗口的4 096点的干涉数据采用小双边干涉数据量为512点,所有干涉数据采用非对称三角切趾的Mertz法相位校正，傅里叶变换、线性标定后能快速复原目标光谱，且光谱分辨率达到4 cm-1。

摘要:声光信号处理技术是以声光器件为核心的频谱分析技术和相关处理技术，具有大瞬时带宽、大动态范围、高处理增益和高速并行能力。根据非相干时间积分声光相关器原理，针对巴克码相关峰提取问题，提出了多项式拟合和小波变换两种峰值提取方法，对两种方法进行了比较，并对实验结果进行了分析。

摘要:为满足复杂电磁环境下的使用要求，克服强背景光干扰造成的高虚警率，设计了一种具有较强的抗电磁干扰能力和低虚警率的激光告警电路。分析了现有各种激光探测技术的特点和不足，有针对性的采用了模拟电路和数字电路相结合的方式，在模拟电路部分实现了探测激光波段的改进，在数字电路部分实现了虚警率的降低。范围采用灵敏度高、响应带宽宽的光电探测器作为来袭激光接收装置，可探测探测器响应频带内不同波段的来袭激光信号。基于可编程逻辑控制器件(CPLD)的逻辑驱动控制电路能按程序给定的规则判别来袭激光信号的脉冲宽度，排除干扰光信号造成的误判，降低虚警率。测试结果表明，该电路的放大电路增益G=30,信噪比为20 dB，探测距离≤5 km，探测波长范围为850~1 700 nm，虚警率≤5%。

摘要:采用了MODBUS协议作为半球谐振陀螺（HRG）数字控制电路系统的通讯协议，介绍了半球陀螺的控制原理和MODBUS协议，给出了软件具体设计途径。经过实践应用，采用MODBUS协议能很好地满足半球陀螺数字控制电路的开发要求。

摘要:便携式侦察雷达对伺服系统提出了轻小型化要求。该文介绍了一种便携式侦察雷达伺服系统，讨论了伺服系统的机械结构、硬件组成和软件设计方法，提出了小型化的脉宽调制式（PWM）直流电机驱动方案，建立了相应的伺服系统控制模型和传递函数，并利用Matlab语言进行了数字仿真，通过仿真和试验，验证了伺服系统的性能。

摘要:针对激光陀螺动态特性中的带宽特性进行了研究。该文首先分析了激光陀螺的带宽特性指出，激光陀螺具有较高的理论带宽，并分析了影响实际带宽大小的因素，对激光陀螺的带宽进行了实际测试。将激光陀螺装在惯性测量装置（IMU）台体上，采用正弦激励法进行试验。按已设定的频率和幅值给角振动台施加正弦激励，分别采集激光陀螺信号和角振动台信号的输出，对每个频率点采集的数据进行傅里叶变换(FFT)处理并得出结论。为更好说明问题，先后在两台角振动台上进行试验，且IMU与试验工装分刚性连接和带减震器两种状态。测试数据说明，激光陀螺在IMU系统上测试的带宽大于120 Hz，理论分析相符，完全满足现代导弹对激光陀螺的带宽要求。该试验可为激光陀螺信号的滤波、激光IMU系统设计等提供参考依据。

摘要:提出了一种能敏感全方位水平姿态的微机械传感器。采用微机械工艺制作的正八边形敏感元件敏感全方位水平姿态；通过前置信号电路和数字电路构成信号处理电路，实现倾角电压信号的提取，全方位信号合成和全方位倾角信号的灵敏度补偿。测试结果表明,分辨率优于0.1°，方位角测量范围可达360°，倾斜角度测量范围可达到20°。该传感器不仅体积小，且结构紧凑，工艺简单，敏感元件输出一致性好，适于批量生产。

摘要:针对动基座光电稳瞄跟踪系统扰动隔离度、跟踪问题进行了工程研究，介绍系统总体构成及采用光纤陀螺应用于系统消除基座扰动、跟踪大动态目标的稳瞄跟踪系统的工程设计原理，研究了基于光纤陀螺速率稳定环的稳定机理、光纤陀螺的工程应用要求、电流环、稳定环路、系统跟踪控制器的设计方法,最后根据设计原理和方法研制出一套装备并给出了试验结果及跟踪效果图。

摘要:由于目前压电惯性驱动器普遍采用非对称性信号激励，驱动信号发生与控制系统复杂，该文提出采用对称电信号激励压电元件产生往复相同的惯性冲击力，通过控制机构和支撑面之间的摩擦力，使驱动器定向运动，形成有规律的新型压电惯性驱动器的研究方案。分析了驱动器的工作原理及结构特点，建立了驱动器的动力学模型，设计研制了基于V型导轨的摩擦变化式压电惯性驱动器样机并进行了仿真分析与试验测试，结果表明，提出的新型驱动器具有输出性能稳定,负载特性好,重复定位精度较高等特点。

摘要:为研究光纤陀螺的抗电磁干扰性，设计了电磁干扰试验，利用方差分析研究了电磁频率对光纤陀螺输出的影响。利用一元方差分析得出,单频率点电磁干扰对光纤陀螺无明显影响，而频率扫描电磁干扰对光纤陀螺的影响显著。利用二元方差分析进一步确定，频率扫描电磁干扰对光纤陀螺的影响与所加的频率段及光纤陀螺的运动状态有关。

摘要:为提高真空微电子加速度传感器的线性度，提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型，进行仿真分析。设计制作以TMS320VC5416 DSP为核心的控制电路，实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制。实验结果表明，在±10 m/s2)的测量范围内，加速度计的标度因数为0.212 7，满量程输出电压为0.427 3 V，非线性度≤0.98%。该电路能较好的实现真空微电子加速度传感器的闭环控制。

摘要:研究了压电合成射流驱动器(PSJA)的4种不同孔型结构与出口射流性能的关系。基于雷诺平均法数值仿真了不同孔型的PSJA流场分布特性，分析比较了其出口射流速度分布情况。通过比较发现，锥形出口驱动器的射流最集中，横向扩散最少，纵向速度最大，是一种较理想的出口形式;而圆弧形出口驱动器由于横向扩散严重，纵向传输能力最弱，基本无法实现连续的射流。对于直口和阶梯形出口的PSJA，其出口射流沿中心线的分布规律及速度大小都基本重合。

摘要:压电贾卡是经编机实现提花功能的关键部件，在纺织工业中得到迅猛发展。该文介绍了目前国内外压电贾卡的发展概况和基本工作原理，并采用有限元分析软件ANSYS对压电贾卡选针片的偏转特性进行了分析讨论，得出了陶瓷片和基板的外形尺寸对偏转位移的影响关系，并通过实验对所得结论进行了验证，为压电贾卡的设计和优化提供理论依据和方法。

摘要:利用ANSYS有限元分析软件，对浮动式压电振动输送装置进行了静态分析、模态分析及谐响应分析。明确了振动部件在交流电激励下的振动方式，找到了实现输送目的的振动频率及模态，并分析了浮动式压电振动输送装置的工作原理，为其深入研究提供了理论依据。

摘要:介绍了一种中心频率为450 kHz，相对带宽大10%的低频压电陶瓷滤波器的设计。它具有低插损、高选择性及高稳定性的特点。该文通过利用两种机电耦合系数不同的压电陶瓷材料分别制备串臂陶瓷振子和并臂陶瓷振子，达到了小波动大带宽的设计结果，并找出了串、并臂陶瓷振子的最佳静电容比，解决了调试匹配难题；通过在陶瓷振子四周梅花成型方式的设计，抑制了谐波响应，提高了产品的带外寄生抑制；通过优化设计专用装连结构，在满足小尺寸外形要求下，保证了产品的可靠性。

摘要:采用直流磁控溅射技术，在聚对萘二甲酸乙二醇酯 (PEN)柔性衬底上制备了氧化物铟锡 (ITO)导电薄膜，研究了衬底温度和薄膜厚度工艺参数对柔性衬底上导电薄膜光学性能与电学性能的影响。在优化工艺的条件下,所制备的PEN导电基板的方阻低至35 Ω/□,且可见光透过率大于95%；以此柔性ITO衬底为阳极,制备了结构为PEN/ITO/NPB/Alq3/Al的柔性有机电致发光器件。作为对比，选用多种不同的衬底材料制备了有机电致发光器件，并比较了各器件性能的差异。

摘要:研究了正交异性压电复合材料(OPCM)换能器的驱动特性，采用1 1型OPCM制备了换能器，对其驱动原理及正交异性进行了理论分析。通过数值仿真和实验测试了其在横观正交方向上不同的压电特性，即正交异性，并得出正交比，该特性可聚集特征信号的能量，从而提高结构损伤的定位精度。OPCM超声换能器模拟与实验测试结果一致，研究表明，这种新型换能器具有明显的正交异性，能在特定方向产生定向应力波，其驱动性能优于片状压电元件。

摘要:利用超声波的机械作用，将超声波应用到焊接技术中，提出一种超声波助焊技术。超声波发生装置发出高频振荡信号，通过压电换能器转换成高频机械振荡而传播到介质，超声波在焊锡溶液中向前辐射，产生较强的压力，使焊锡溶液在瞬间有较大的振荡速度，降低焊锡溶液的表面张力，确保焊锡溶液在被焊接物表面顺利扩展、流动、浸润，提高焊锡溶液的浸润度。实验结果表明，超声助焊能明显提高焊锡对导线的浸润，提高导线焊接质量。

摘要:在压电石英金电极上自组装半胱胺膜，通过1 乙基 3 （3 甲基氨丙基）碳二亚胺盐酸盐和N 羟基琥珀酰亚胺活化的羧基化碳纳米管交联半胱胺和DNA探针，构建新的压电DNA传感器，实现对肺癌特征DNA的压电检测。该传感器检测灵敏度为27.617 Hz/(μg/mL)，线性范围为0.02~7.50 μg/mL，再生性能好。样本分析结果与聚合酶链式反应(PCR)法无显著差异，可用于临床检测。

摘要:设计了一种用于驱动数字共焦显微仪压电陶瓷物镜驱动器，实现数控电位器调节的压电陶瓷驱动电源，由单片机系统、前级高压稳压电路、数控电位器、功率放大电路、高压稳压电源和放电回路组成。采用前级高压稳压代替电压放大级作为输入，通过高分辨率的数控电位器调节，经功率放大和放电回路后驱动压电陶瓷驱动器。该驱动电源输出电压稳定，数控可调且随输入电压呈线性变化，可实现对电压精密控制，适用于驱动压电陶瓷等容性负载。

摘要:针对目前引信用压电式气流谐振发电机体积大,压电膜片难以达到谐振状态,且有输出电压低等缺点，结合常用射流发电机原理和微机电系统(MEMS)制造工艺，提出了一种MEMS压电式射流发电机，其以悬臂梁式压电膜片代替压电膜片结构发电，并通过双向流固耦合分析及压电仿真等对发电机的性能进行了验证，结果表明,MEMS压电式射流发电机可满足低功耗引信使用，且具有结构简单,体积小,输出电压高等特点。

摘要:采用射频反应磁控溅射法在Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)/Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了ZnO 薄膜, 利用X线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、霍尔效应测试系统等对不同退火温度下制备薄膜的结构、形貌及电阻率等进行了分析表征。结果表明,退火温度600 ℃的ZnO薄膜（002）择优取向较好，晶粒大小均匀，表面平整致密。随着退火温度的增大，电阻率先下降后升高，600 ℃时ZnO薄膜电阻率达最小。

摘要:采用传统固相反应法合成ZnNb2O6陶瓷粉体。系统研究了添加不同含量V2O5对ZnNb2O6陶瓷的烧结特性及介电性能的影响。结果表明：其烧结温度降低到1 050 ℃，且当V2O5质量分数大于1.0%时有第二相ZnV2O6生成。添加V2O5后ZnNb2O6陶瓷的谐振频率温度系数向0方向偏移。当V2O5质量分数为1.0%的ZnNb2O6陶瓷在1 050 ℃烧结3 h时，其介电性能为εr=28, tan δ=0.000 6,τf=-42.5×10-6/ ℃ (在1 MHz下)。

摘要:探讨了MnO2过量对锑锰锆钛酸铅(Pb(Mn1/3Sb2/3)0.05Zr0.47Ti0.48O3,简写为PMSZT5) 压电陶瓷的性能影响。通过X线衍射(XRD)分析了PMSZT5 + z% MnO2 (z = 0～0. 7，质量分数) 陶瓷的相组成。结果发现，合成温度900 ℃保温2 h 后可得到完全钙钛矿结构。随着锰含量的增大，体系从准同型相界向三方相转变。z＞0.1、1 240 ℃烧结温度下，介电常数εT33/ε0、压电常数d33 、机电耦合系数kp 达到最佳值，即εT33/ε0 =1 560 、d33=350 pC/N、kp=0.63。该组成的谐振频率fr、横向机电耦合系数k31和压电常数d31的温度稳定性与未掺杂相比有所改善。过量锰的加入使PMSZT5的居里温度降低。

摘要:采用射频磁控溅射系统，在Si(111)衬底上制备了不同溅射功率下的Mg2Si薄膜。通过X线衍射(XRD)和冷场发射电子显微镜 镜(FESEM)对Mg2Si薄膜的晶体结构和表面形貌进行了表征，理论分析了Mg2Si薄膜在Si(111)衬底上的外延生长关系，得到了Mg2Si薄膜的外延生长特性。研究结果表明，在80~110 W的溅射功率范围内，Mg2Si薄膜具有Mg2Si(220)的外延择优生长特性，并且随着溅射功率的增加Mg2Si(220)衍射峰先增强后变弱，在100 W功率下Mg2Si(220)衍射峰最强。

摘要:采用直流反应磁控溅射法在Si(111)基片上制备了AlN薄膜，利用X线衍射（XRD） 、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、原子力显微镜(AFM)对不同溅射功率下制备的AlN薄膜的结构及形貌进行了分析表征。结果表明：在一定范围内，随着溅射功率的增大，薄膜厚度增加，晶粒逐渐长大，表面粗糙度也随之增大；AlN(002)择优取向改善明显，120 W时达到最佳。

摘要:在大气环境下N型有机薄膜晶体管（OFET）的性能不稳定，为提高晶体管在大气环境稳定性，该文分别制作了SiO2单绝缘层器件和SiO2/PMMA双绝缘层器件。采用N型新材料PTCDI C8作为有源层，Ag作为源、漏电极，对制作的不同绝缘层的器件进行聚对二甲苯的封装，对有源层进行形貌和晶体结构分析。并进行电流 电压(I V)曲线测试。在相同工作电压下，双绝缘层器件比单绝缘层器件具有更大的场效应迁移率、开关电流比和更小的阈值电压。

摘要:通过溶胶 凝胶(Sol Gel)法制备了铁、镧共掺杂纳米TiO2，采用X线衍射仪(XRD)、X线光电子能谱(XPS)、紫外 可见分光光度计(UV Vis) 和荧光分光光度计（FL）等测试手段对样品进行表征。结果表明，500 ℃煅烧后的掺杂TiO2均呈锐钛矿型，平均粒径为6.1 nm，掺杂抑制了TiO2粒径的长大，掺杂的Fe3+、La3+能有效进入TiO2晶格。掺杂使TiO2的吸收带边红移且在可见光区的光吸收增强，样品的荧光强度越小，催化效果越好。可见光光催化降解甲基橙实验结果表明，可见光照射5 h，最佳共掺杂的0.01%Fe/0.6%La TiO2对甲基橙的降解率达40.7%。

摘要:采用固相反应法制备了0.65CaTiO3 0.35LaAlO3(CTLA)陶瓷，研究了CTLA陶瓷的物相组成、烧结特性及微波介电特性。结果表明，CTLA陶瓷只含有Ca0.65La0.35Al0.35Ti0.65O3主晶相，不存在第二相。烧结温度在1 380～1 450 ℃间，陶瓷的微波介电性能最佳，介电常数εr=44.5，频率温度系数τf≈0，品质因数与频率之积Q×f≈43 948 GHz。当w(Nb2O5)=10%时能使陶瓷致密化烧结温度降到1 300 ℃，但微波性能变差，εr=38.3，τf=-2.8×10-6/℃， Q×f =13 260 GHz。

摘要:从微磁学理论出发，建立了单轴应力作用下的等效模型；利用美国国家标准技术协会（NIST）开发的微磁学软件OOMMF，从理论上研究应力对厚30 nm的FeCoSiB非晶磁弹性薄膜图形化单元磁畴、剩磁、矫顽力等磁性特性的影响。结果表明,FeCoSiB非晶磁弹性薄膜的磁矩分布随应力的变化明显不同；当应力于外磁场方向平行时，薄膜单元的矫顽力和剩磁随张应力的增加而线性增加，随着压应力的增加而线性减小。

摘要:高速宽带频率合成器是现代电子战系统的关键技术之一。采用锁相频率合成、数字频率合成与直接频率合成相结合的混合频率合成技术，可实现高速、高稳定度、大带宽、低杂散、低相噪的频率合成。混合频率合成技术可广泛运用于现代电子战系统的频率合成器设计中。

摘要:超宽带射频识别（UWB RFID）的调制信号需满足规定的频谱辐射掩蔽，介绍超宽带射频识别的基本原理，分析跳时脉冲位调制（TH PPM）的原理；研究源脉冲高斯波形的能量谱密度特性，提出一种线性组合迭代算法，由该算法合成源脉冲，验证该脉冲合成算法是可行的。

摘要:提出了一种多路低相差输出捷变频率源的设计方案，给出了系统原理框图、软件设计思路及控制流程，实际测试结果表明，十路锁相直接数字频率合成(DDS)模块输出信号间的相差小于±3°，输出跳频时间为17.2 μs，相位噪声≤-109 dBc/Hz@1 kHz。该方案具有控制灵活,相位噪声低,跳频时间短,多路输出信号相差小的优点，同时有很强的实用性和可扩展性。目前该方案己在工程中得到验证，实际使用效果良好。

摘要:根据苍蝇眼睛的仿生学原理，提出了一种基于伪随机码扩频超声波测距和CAN总线的大型矿用卡车低速防撞和预警超声波蝇眼系统。蝇眼系统以DSP为控制核心，以分布于车身四周的4组共12对超声波传感器为复眼，通过每组3对传感器数据关联定位实现无盲区测距和全方位避障。给出了系统的功能结构、工作原理和软硬件设计，实验结果表明,该蝇眼系统的测量距离、精度、准确度和抗干扰性等指标都达到较高水平，能满足大型矿用卡车的低速防撞要求。

摘要:针对子母弹抛撒子弹环境的特殊性，设计了一种存储遥测系统，用于完成子弹抛撒参数的实时采集与无线传输。避免了繁重的装置装卸和数据读取工作，并提高了实验时的安全系数。该文给出了系统的总体设计方案，阐述了系统各组成部分的工作原理，实现了多量程测试、多存储模式，并进行了相应的实弹测试试验。实验表明，该系统在抛撒实验时很好的完成了数据存储和无线传输的功能，误码率很低，符合实验标准。

摘要:针对悬臂梁式压电发电机为储能电路充电速度慢的问题，提出了一种自主控制快速充电思想。通过分析悬臂梁式压电发电机以超级电容器为负载时的输出特性，采用MATLAB/Simulink仿真得出超级电容器充电最快的时段，设计出以微功耗单片机ATmega168为控制核心的自主控制快速充电电路。实验证明，该电路充电储能比传统的快3倍以上，实现了微型发电机应用中快速充电和自主控制功能，满足了连续振动中微功耗电子器件、传感器及间歇式大功耗电路的要求。

摘要:煤矿瓦斯灾害是煤矿生产中最危险的事故，给安全生产带来严重隐患，所以瓦斯灾害的预测很重要。该文针对以往的瓦斯预测法无法解决多维灾害问题，提出了多维瓦斯预测模型和自回归人工神经网络形成一种新的自适应预测方法，对多维灾害进行预测。实验结果表明，自回归神经网络预测精度高，自适应性强,可对瓦斯灾害趋势做出很好的预测。

摘要:实验箱以MSP430FG4618作为嵌入式智能处理芯片，使用温度传感器DS18B20感知周围温度，通过建准风扇和加热电阻来作为调节手段，使用nRF24L01芯片和NetUSB 24L01模块进行无线传输，完整的构成了一个自动控制实验系统。实验箱系统中温度控制模块采用改进的比例、积分、微分(PID)算法校正温度控制。实验箱还具有LCD液晶屏和上位机两种并行的显示方式，适应了多种环境下查看温度的要求。