声学梳谱信号产生器件的探索
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

基金项目:

伦理声明:



Exploration of the Acoustical Combspectrum Signal Generator
Author:
Ethical statement:

Affiliation:

Funding:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
    摘要:

    介绍了工作频率在约为10 GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137 GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。

    Abstract:

    The principle, design and fabrication process of the high overtone bulk acoustic resonator (HBAR) which can generate the combspectrum signal with the operating frequency of about 10 GHz at UHF band are presented in the paper. Also, the resonator with Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au twoport structure is designed, and theQ value of experimental sample is more than 23 000 at the resonance frequency of 2.240 137 GHz. The future work will focus on ZnO film growth, HBAR design modification and Q value improvement.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

朱昌安,周勇,穆晓华,郑泽渔,徐阳,司美菊,田亚睿,李晖.声学梳谱信号产生器件的探索[J].压电与声光,2015,37(6):999-1002. ZHU Chang’an, ZHOU Yong, MU Xiaohua, ZHENG Zheyu, XU Yang, SI Meiju, TIAN Yarui, LI Hui. Exploration of the Acoustical Combspectrum Signal Generator[J]. PIEZOELECTRICS AND ACOUSTOOPTICS

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期: 2015-12-16
  • 出版日期: